谁走在半导体工艺制程的前列

谁走在半导体工艺制程的前列

     在摩尔定律推动下，工艺技术的缩微没有停止，基本上每两年一个台阶，今年可达32纳米(注释，通常指微处理器的量产还要推迟几个季度) 。其实走在缩微制程最前面的是NAND闪存。
    
     据IMFlash报道， 已于2008年11月时实现34纳米的32G NAND闪存量产。今年7月21日报道80G的MLC SSD(固态硬盘)价格已由595美元下降到225美元，及160G MLC SSD的价格由945美元下降到440美元。
    
     目前32纳米工艺制程采用193纳米浸入式光刻机，尽管工艺复杂，成本高，大多还是要用双重图形曝光技术。估计下一个22纳米接点时，光学光刻方法可能已走到尽头，EUV、电子束直接曝光等都有可能浮现。但是摩尔定律即将终止，技术已近极限，所以经济上的矛盾会逐渐突显。