提升8英寸工厂自动化水平 Crossing Automation在上海发布SMIF标准低成本硅片加载设备

提升8英寸工厂自动化水平 Crossing Automation在上海发布SMIF标准低成本硅片加载设备

　　全球高效低成本自动化解决方案暨工程服务供应商Crossing Automation日前于上海举办的中国半导体设备暨材料展（SEMICON China）中，引进全新系列的标准机械化接口（SMIF）晶圆加载机（LPT），此一系列产品可应用于各类200mm开放式晶圆匣的制程、量测和检测设备。这些可适应性标准机械化接口晶圆加载机（SMIF-LPT）提供由非标准机械化接口升级为标准机械化接口的低成本解决方案，进而让现有的200mm晶圆厂拥有能够生产低于180nm半导体的技术。

　　Crossing Automation产品营销副总梅·苏（May Su）表示：“基于200mm晶圆厂吸引人的资本投资成本优势，许多制造厂现在希望能将标准机械化接口运用于既有工具系统上。Crossing Automation的解决方案可将标准机械化接口应用于开放式晶圆匣工具上，使各式各样的200mm设备皆可为晶圆厂带来标准机械化接口的优势。”

　　三种全新的配置设计旨在解决原始设备制造商（OEM）设备配置难以放置晶圆匣的问题，全新的SMIF-LPT Tr设计为旋转头以应用于非垂直晶圆匣放置。SMIF-LPT Tx提供横向匣盒间晶圆匣放置，而SMIF-LPT Ty则有个机械手臂专门用于狭小的腔口。所有这些新性能均可在既有标准机械化接口晶圆加载机的基础上进行结合或升级。这些可适应性标准机械化接口也能提高微尘粒的表现，以达到100等级无尘室环境中的1等级微尘粒表现。