AIXTRON首批CRIUS II获台湾奇美订购

【高工LED专稿】 【高工LED讯】AIXTRON日前宣布其最新的MOCVD设备CRIUS II已经顺利完成安装调试并投入生产，且已获得首家客户来自台湾奇美集团的订购。
 
据介绍，CRIUS II易于调试，还可以转换为2英寸、4英寸或者6英寸晶圆的生产。和CRIUS相比，CRIUS II的生产能力从31 x2英寸提升为55 x2英寸或13 x4英寸，大大提高HB-LED的生产力并降低成本。
 
另外，由于该系统特有的密封耦合喷洒反应腔技术，只需应用简单的大面积换算系数，现有CRIUS用户即可顺利转换成CRIUS II。AIXTRON称该设备的工艺稳定性、一致性和生产量均超过预期。