北方微电子LED芯片ICP等离子刻蚀机再获批量大单

【高工LED专稿】 2011年，在国家战略性新兴产业规划和产业升级的推动下，我国LED上游外延片、芯片制造业迎来了新一轮的投资高潮。LED产业的发展为设备企业带来更多的发展机遇，作为国产高端LED设备制造商的代表，北方微电子凭借其过硬的技术基础和本地化的服务优势，在产业的快速成长中取得了骄人的成绩。

北方微电子开发的ELEDE 330等离子刻蚀机作为我国首台直接面向LED生产线的大产能ICP刻蚀设备于2010年首次进入市场，通过多家生产线验证，其优秀工艺性能、较高生产能力和竞争力的价格，赢得了众多客户的认可和好评。

今年上半年，该设备先后实现了对上海蓝光、大连路美、江门真明丽、普吉光电、同方光电等多家生产线的销售，尤其是获得了东莞中镓半导体、上海蓝光等厂商的二次批量采购订单。北方微电子作为国产LED设备企业的代表正在通过不懈的努力，逐步打破国外高端设备的垄断局面，推动我国LED产业链的健康发展。