牛尾电机开发出节能省空间化的曝光用LED光源

日本牛尾电机开发的曝光用LED光源在“Semicon Japan 2011”上参考展出。与之前使用的汞灯相比，虽初期成本较高，但由于使用寿命长，所以可降低运行成本。其发热较低，可实现节能省空间化。该产品有望取代之前使用的汞(Hg)灯。该公司表示，其准备开拓能发挥LED光源特点的应用。

据牛尾电机介绍，展示的曝光用LED光源，其本身的开发已经完成，目前正在探索用户的使用方法。该LED光源可输出相当于汞灯g线(波长为436mm)、h线(波长为405mm)和i线(波长为365mm)波长的光。目前的光强度相当于输出功率750W的汞灯。该LED光源的特点是，可改变汞灯中固定的g线、h线和i线的光强度比。