思捷爱普:助推国产MOCVD设备走向产业化

来源:高工LED 作者:--- 时间:2011-12-16 00:00

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【高工LED专稿】 高工LED讯 文/记者 刘巧梅】10月20日,厦门乾照光电股份有限公司(以下简称“乾照光电”)对外发布公告,全资子公司扬州乾照光电有限公司从北京思捷爱普半导体设备有限公司(以下简称“思捷爱普”)购买一台MOVCD,此台设备是扬州子公司引进的第21台MOVCD。据公司负责人介绍,该设备属于四元系设备,调试后将主要用于生产四元系LED红黄光和太阳能电池。

此次乾照光电的一纸公告宣告了国产MOCVD设备在线使用率终于实现零的突破,这可以称得上LED行业最尖端设备中国造的重要里程碑。
 
据北京思捷爱普半导体设备有限公司(下文简称“思捷爱普”)董事长张杰接受高工LED记者独家专访时表示,“中国人一旦掌握了关键技术就会很快实现大规模的产业化,我有十足的信心实现国产MOCVD产业化”。
 
尽管如此,张杰对于自己公司研制的首台可量产国产MOCVD一直保持低调的风格,“现在还不宜过多渲染,还是要等客户出来详细的测试数据结果”,他强调,“我们是扎扎实实、脚踏实地做事,为了在中国高端半导体设备中占有一席之地,能够在高端半导体设备行业中有所突破。”

国产MOCVD的突破
 
MOCVD作为LED最核心环节的外延片生长关键设备,也是制造环节中单项投资最大的设备。目前全球可以提供工业化量产的MOCVD设备制造商数量有限,厂家主要在德国、美国和日本。而在全球LED产业的快速发展带动下,近年来MOCVD也一直处于供应紧张的状态。
 
在思捷爱普之前,国内并没有研发出可实际量产MOCVD设备的企业,当然这其中并不缺乏处于MOCVD设备研发阶段的科研院所或企业。
 
今年初,国内上市公司天龙光电曾发布公告称,已与华晟光电签订合同,共同在常州合资成立独立法人的中外合资公司,主要从事MOCVD设备及外延工艺的研发、生产、销售、及售后服务,一度成为市场关注的热点。
 
但中国MOCVD设备国产化之路一直走得并不顺利,只能够生产用于科研的小型MOCVD设备,目前尚无能够提供用于成熟工业化生产的MOCVD设备厂家,但是近来有几家国内设备科研和企业给出了设备国产化的时间表。

如中科院半导体所、昭信集团与华中科技大学合作、青岛杰生光电和西安电子科技大学合作,但最后都功亏一篑,大都是推出样机后便不了了之。2010年1月昭信集团MOCVD样机下线曾在LED行业内闹得沸沸扬扬,但最终还是以销声匿迹收场。

2008年,思捷爱普的创始人怀揣着“只要是人造出来的东西,中国人一定可以干”的心态,以“如果不能超越国际MOCVD厂商,我就不做MOCVD设备”的决心,开始与日本设计师进行沟通,直到2010年双方才开始有正式的合作意向。2010年7月,思捷爱普联合香港的投资伙伴,开始了MOCVD设备的研制阶段。

而在整个研制过程中,乾照光电总经理王向武及公司技术团队受邀参与了MOCVD的设计。乾照光电在10月20日发布的公告中指出,“乾照光电参与了尾气处理设备、有毒气体探测、报警;气体二次配管;H2和N2初级,终级纯化器等辅助设备的安装。”就这样前后不到一年的时间,思捷爱普研制的首台国产MOCVD设备就运到了乾照光电的厂房。对于能在如此短暂的时间内完成设备的设计及样机组装,张杰表示,“外延生产企业的直接参与很重要。”

作为首家参与设计并引进国产化MOCVD的公司,王向武向高工LED记者调侃称,“有钱就买进口车,没钱就买国产车。不管是国产的还是国外的,只要有利于生产,这也未必不可。”换言之,不管白猫黑猫,抓到老鼠就是好猫。而对国产化的MOCVD设备的前景,王向武表示自己非常看好。

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