陶瓷基板现状是怎么样的?

来源:中山LED网 作者:--- 时间:2011-11-06 00:00

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核心提示:1、 塑料和陶瓷材料的比较  塑料尤其是环氧树脂由于比较好的经济性,至目前为止依然占据整个电子市场的统治地位,但是许多特殊领域

1、 塑料和陶瓷材料的比较

  塑料尤其是环氧树脂由于比较好的经济性,至目前为止依然占据整个电子市场的统治地位,但是许多特殊领域比如高温、线膨胀系数不匹配、气密性、稳定性、机械性能等方面显然不适合,即使在环氧树脂中添加大量的有机溴化物也无济于事。

  相对于塑料材料,陶瓷材料也在电子工业扮演者重要的角色,其电阻高,高频特性突出,且具有热导率高、化学稳定性佳、热稳定性和熔点高等优点。在电子线路的设计和制造非常需要这些的性能,因此陶瓷被广泛用于不同厚膜、薄膜或和电路的基板材料,还可以用作绝缘体,在热性能要求苛刻的电路中做导热通路以及用来制造各种电子元件

  2、 各种陶瓷材料的比较

  2.1  Al2O3

  到目前为止,氧化铝基板是电子工业中最常用的基板材料,因为在机械、热、电性能上相对于大多数其他氧化物陶瓷,强度及化学稳定性高,且原料来源丰富,适用于各种各样的技术制造以及不同的形状。

  2.2  BeO

  具有比金属铝还高的热导率,应用于需要高热导的场合,但温度超过300℃后迅速降低,

  最重要的是由于其毒性限制了自身的发展。

  2.3  AlN

  AlN有两个非常重要的性能值得注意:一个是高的热导率,一个是与Si相匹配的膨胀系数。缺点是即使在表面有非常薄的氧化层也会对热导率产生影响,只有对材料和工艺进行严格控制才能制造出一致性较好的AlN基板。目前大规模的AlN生产技术国内还是不成熟,相对于Al2O3,AlN价格相对偏高许多,这个也是制约其发展的瓶颈。综合以上原因,可以知道,氧化铝陶瓷由于比较优越的综合性能,在目前微电子、功率电子、混合微电子、功率模块等领域还是处于主导地位而被大量运用。

 3、 陶瓷基板的制造

  制造高纯度的陶瓷基板是很困难的,大部分陶瓷熔点和硬度都很高,这一点限制了陶瓷机械加工的可能性,因此陶瓷基板中常常掺杂熔点较低的玻璃用于助熔或者粘接,使最终产品易于机械加工。Al2O3、BeO、AlN基板制备过程很相似,将基体材料研磨成粉直径在几微米左右,与不同的玻璃助熔剂和粘接剂(包括粉体的MgO、CaO)混合,此外还向混合物中加入一些有机粘接剂和不同的增塑剂再球磨防止团聚使成分均匀,成型生瓷片,最后高温烧结。目前陶瓷成型主要有如下几种方法:

  ●辊轴轧制   将浆料喷涂到一个平坦的表面,部分干燥以形成黏度像油灰状的薄片,再将薄片

  直接敷铜技术是利用铜的含氧共晶液直接将铜敷接在陶瓷上,其基本原理就是敷接过程前或过程中在铜与陶瓷之间引入适量的氧元素,在1065℃~1083℃范围内,铜与氧形成Cu-O共晶液, DBC技术利用该共晶液一方面与陶瓷基板发生化学反应生成 CuAlO2或CuAl2O4相,另一方面浸润铜箔实现陶瓷基板与铜板的结合。陶瓷基板直接敷铜板的制造流程图如下图4.2。


(a)  Al2O3陶瓷基板敷铜板工艺                 (b)  AlN陶瓷基板敷铜板工艺
图4.2 直接敷铜陶瓷基板工艺示意图

  直接敷铜陶瓷基板由于同时具备铜的优良导电、导热性能和陶瓷的机械强度高、低介电损耗的优点,所以得到广泛的应用。在过去的几十年里,敷铜基板在功率电子封装方面做出了很大的贡献,这主要归因于直接敷铜基板具有如下性能特点:

  ● 热性能好;

  ● 电容性能;

  ● 高的绝缘性能;

  ● Si相匹配的热膨胀系数;

  ● 电性能优越,载流能力强。

直接敷铜陶瓷基板最初的研究就是为了解决大电流和散热而开发出来的,后来又应用到AlN陶瓷的金属化。除上述特点外还具有如下特点使其在大功率器件中得到广泛应用:

  ● 机械应力强,形状稳定;高强度、高导热率、高绝缘性;结合力强,防腐蚀;

  ● 极好的热循环性能,循环次数达5万次,可靠性高;

  ● 与PCB板(或IMS基片)一样可刻蚀出各种图形的结构;无污染、无公害;

  ● 使用温度宽-55℃~850℃;热膨胀系数接近硅,简化功率模块的生产工艺。

  由于直接敷铜陶瓷基板的特性,就使其具有PCB基板不可替代特点。DBC的热膨胀系数接近硅芯片,可节省过渡层Mo片,省工、节材、降低成本,由于直接敷铜陶瓷基板没有添加任何钎焊成分,这样就减少焊层,降低热阻,减少孔洞,提高成品率,并且在相同载流量下 0.3mm厚的铜箔线宽仅为普通印刷电路板的10%;其优良的导热性,使芯片的封装非常紧凑,从而使功率密度大大提高,改善系统和装置的可靠性。

  为了提高基板的导热性能,一般是减少基板的厚度,超薄型(0.25mm)DBC板可替代BeO,直接敷接铜的厚度可以达到0.65mm,这样直接敷铜陶瓷基板就能承载较大的电流且温度升高不明显,100A电流连续通过1mm宽0.3mm厚铜体,温升约17℃;100A电流连续通过2mm宽0.3mm厚铜体,温升仅5℃左右。与钎焊和Mo-Mn法相比,DBC具有很低的热阻特性,以10×10mmDBC板的热阻为例:

  0.63mm厚度陶瓷基片DBC的热阻为0.31K/W,0.38mm厚度陶瓷基片DBC的热阻为0.19K/W,0.25mm厚度陶瓷基片DBC的热阻为0.14K/W。

  氧化铝陶瓷的电阻最高,其绝缘耐压也高,这样就保障人身安全和设备防护能力;除此之外DBC基板可以实现新的封装和组装方法,使产品高度集成,体积缩小。

  4.3.1 直接敷铜陶瓷基板发展趋势

  在大功率、高密度封装中,电子元件及芯片等在运行过程中产生的热量主要通过陶瓷基板散发到环境中,所以陶瓷基板在散热过程中担当了重要的角色。Al2O3陶瓷导热率相对较低,在大功率、高密度封装器件运行时须强制散热才可满足要求。BeO陶瓷导热性能最好,但因环保问题,基本上被淘汰。SiC陶瓷金属化后键合不稳定,作为绝缘基板用时,会引起热导率和介电常数的改变。AlN陶瓷具有高的导热性能,适用于大功率半导体基片,在散热过程中自然冷却即可达到目的,同时还具有很好的机械强度、优良的电气性能。虽然目前国内制造技术还需改进,价格也比较昂贵,但其年产增率比Al2O3陶瓷高4倍以上,以后可以取代BeO和一些非氧化物陶瓷。所以采用AlN陶瓷做绝缘导热基板已是大势所趋,只不过是存在时间与性价比的问题。

    4.3.2直接敷铝(DAB)陶瓷基板与直接敷铜陶瓷基板(DBC)性能比较

  直接敷铝基板作为一种绝缘载体应用于电子电路而取得长足进展,该技术借鑑了直接敷铜陶瓷基板技术。这类新型的直接敷Al基板在理论和实验上表现出好的特性。尽管它的特性在很多方面相似于直接敷Cu基板。对于直接敷Cu基板,由于金属铜的膨胀系数室温时为17.0 ′10-6/°C,96氧化铝陶瓷基板的热膨胀系数室温时为6.0′10-6/°C,铜和氧化铝敷接的温度较高(大于1000℃),界面会形成比较硬的产物CuAlO2,所以敷接铜的氧化铝基板的内应力较大,抗热震动性能相对较差,在使用中常常因疲劳而损坏。


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