北方微电子等离子刻蚀系统中标上海蓝光LED项目

北方微电子等离子刻蚀系统中标上海蓝光LED项目

近日，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司佳音频传，继高密度等离子刻蚀机中标国家集成电路先导工艺研发项目后，ELEDE 330高密度等离子ICP刻蚀机中标上海蓝光LED项目。ELEDE 330由北方微电子自主研制生产，是我国首台直接面向LED大生产线的ICP刻蚀系统，实现了北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展。此次中标，标志着北方微电子LED刻蚀设备获得市场主流生产线的充分肯定，使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。