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Spartan EFEM系统可每小时加工450张晶圆
CrossingAutomation公司(www、crossinginc、com)宣布，已经提高公司的Spartan设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至450张晶圆。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离/去胶、清
2010-03-31 09:56