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突破型研磨技术：5倍提升晶圆平坦度
诺发系统(Novellus)全资子公司、高精密度表面抛光系统制造商PeterWolters，宣布开发出采用AC2000双面抛光系统的创新行星式研磨(PPG)技术；以PPG技术制造的硅晶圆，号称比使用其他研磨技术平坦五倍，相较于常规研磨技术甚至可
2010-04-23 13:44
诺发系统(Novellus)全资子公司、高精密度表面抛光系统制造商PeterWolters，宣布开发出采用AC2000双面抛光系统的创新行星式研磨(PPG)技术；以PPG技术制造的硅晶圆，号称比使用其他研磨技术平坦五倍，相较于常规研磨技术甚至可
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