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FinFET复杂度破表 半导体设备商投资不手软
鰭式电晶体(FinFET)製程将带动新一波半导体设备投资热潮。由於FinFET导入立体式电晶体结构,使得晶圆製程中的蚀刻和缺陷检测复杂度较以往大幅攀升,因此包括科林研发(LamResearch)和东京威力科创(TEL)等半导体设备大厂已积极加码
2013-08-08 09:16
鰭式电晶体(FinFET)製程将带动新一波半导体设备投资热潮。由於FinFET导入立体式电晶体结构,使得晶圆製程中的蚀刻和缺陷检测复杂度较以往大幅攀升,因此包括科林研发(LamResearch)和东京威力科创(TEL)等半导体设备大厂已积极加码
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