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KLA-Tencor四款新系统提供先进的缺陷检测与检查能力
在美国西部半导体设备暨材料展(SEMICONWest)上，KLA-Tencor公司宣布推出四款新的系统——2920系列、Puma9850、SurfscanSP5和eDR-7110——为16nm及以下的集成电路研发与生产提供更先进的缺陷检测与检查
2014-07-09 09:28