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EVG发布新一代融化晶圆键合平台GEMINI FB XT
印刷设备的主要供应商，EVG集团日前公布了新一代融化晶圆键合平台GEMINIFBXT，该平台汇集多项技术突破，令半导体行业向实现3D-IC硅片通道高容量生产的目标又迈进了一步。新平台晶圆对晶圆排列精度是过去标准平台的三倍，生产能力更是比先前高出
2014-08-25 09:36