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ASML极紫外光技术培训中心在台湾开张
全球半导体微影技术厂商艾司摩尔(ASML)于20日举行“EUV(极紫外光)全球技术培训中心”开幕典礼。该培训中心座达到台南科学园区，占地1,625平方米，配备实机模块(livemodule)，提供技术理论课程和无尘室实机操作课程等多样化培训内容
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台积电增购2台极紫外光设备 加快投入2纳米研发
6月8日消息，据台湾媒体报道，台积电宣告3纳米制程预计明年上半年试产、2022年下半年量产后，也加速2纳米研发脚步，近期增购二台极紫外光（EUV）机台，以投入2纳米研发。台媒称，这使得台积电今年资本支出几乎不会向下修正，预计仍会上看160亿美元
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第三代EUV降临 台积电追平英特尔
ASML公司的台湾地区销售经理郑国伟透露，第3代极紫外光(EUV)设备已出货6台。郑国伟同时指出，ASML的EUV设备近期取得惊人突破，已有2家客户在以它进行晶圆处理时，测试结果达到每天可曝光超过600片晶圆。业界消息也印证了郑国伟的讲话：AS
2015-05-18 09:19