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令人惊叹的原子级别精准控制!原子层刻蚀工艺开创极小型全新半导体器件新时代
随着智能手机和其他互联设备的蓬勃发展,市场不断追逐着尺寸更小、功能更强大的芯片,而对复杂的集成方案以及新型的元器件结构的需求也随之增长。事实上,当前的先进芯片已经可以实现极小的器件结构,其关键尺寸(CD)仅约50个原子大小。古希腊哲学家德谟克利
随着智能手机和其他互联设备的蓬勃发展,市场不断追逐着尺寸更小、功能更强大的芯片,而对复杂的集成方案以及新型的元器件结构的需求也随之增长。事实上,当前的先进芯片已经可以实现极小的器件结构,其关键尺寸(CD)仅约50个原子大小。古希腊哲学家德谟克利
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