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令人惊叹的原子级别精准控制！原子层刻蚀工艺开创极小型全新半导体器件新时代

随着智能手机和其他互联设备的蓬勃发展，市场不断追逐着尺寸更小、功能更强大的芯片，而对复杂的集成方案以及新型的元器件结构的需求也随之增长。事实上，当前的先进芯片已经可以实现极小的器件结构，其关键尺寸(CD)仅约50个原子大小。古希腊哲学家德谟克利

原子级别精准控制原子层刻蚀工艺

2017-02-21 09:23