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运用互补性显微术在终极尺度上三维重构并分析同一个纳米级样品
运用两种不同的纳米尺度或原子尺度测量分析方法分析同一个样品，对完全掌握一种材料或产品的属性至关重要，这种优势互补的分析方法特别适用于测定MOSFET、FINFET等新一代纳米级晶体管的掺杂分布情况。本文综合电子断层扫描技术(ET)与原子探针层析
2015-05-04 10:54