中国LSI走向何方——爱发科真空技术（上海）

中国LSI走向何方——爱发科真空技术（上海）

     采访对象∶爱发科真空技术（上海）有限公司总经理　岩下 节生
    
     采访者∶日经BP社编辑委员室编辑委员　神保 进一
    
    

    
     为了促进日本ULVAC产品在中国市场的销售，我们在中国设立了总部。在上海、北京、广州设有联络办事处，共有10名员工。联络办事处的任务只是联络业务，与中国当地用户之间的最终合同必须由我们来签署。
    
    　　我们在宁波和上海拥有工厂，生产家电中使用的真空泵及真空蒸镀装置。与半导体相关的生产设备则都从日本进口，中国当地法人的ULVAC（上海）负责从上海的仓库供应零部件并提供售后服务。我们向上海的日资半导体工厂提供了干泵，还向美资半导体制造商的天津工厂提供了保护层剥离装置及usher等。由于地理上的问题，服务基地设在了工厂内部。虽然尚没有向最近开工的上海的半导体工厂提供产品，但今后计划结合半导体工厂的规模扩展以及向北京的进入，提供0.25μm技术的冲孔模板和阴极真空喷镀。今后，还计划构筑这样一种体制，即在中国生产符合当地需求的半导体生产设备零部件。