EV Group向台湾晶圆代工厂商提供MEMS

EV Group向台湾晶圆代工厂商提供MEMS

     （华强电子世界网讯） 晶圆加工设备供应商EV Group(EVG)日前表示，已与Asia Pacific Microsystems公司(APM)签署一项价值数百万美元的设备采购协议。后者是台湾的一家初创公司，从事微电机系统(MEMS)代工制造业务。
    
     APM成立于2001年，总部在台湾新竹，从事MEMS传感器和无线通讯元件的设计与制造，并于2002年11月开始MEMS晶圆代工业务。
    
     上述订单包括一个EVG620精密校准与光刻系统，两个EVG150自动电阻加工系统，一台EVG301单个晶圆与光罩清洁机，以及一台EVG560生产晶圆焊接机。