英特尔明年量产90nm产品
来源:国际电子商情 作者: 时间:2002-10-04 18:11
(华强电子世界网讯) 英特尔公司近日公布了多项突破性技术,这些技术集成到业界最先进的半导体制造工艺——90纳米(nm)工艺中,并将于明年用于批量制造300mm晶圆。
新型90nm工艺中采用了多种特殊的技术,包括栅极长度仅为50nm的晶体管、应变硅、高速铜互连以及新型低K绝缘材料。这是第一次将所有这些技术都集成到同一制造工艺中。
英特尔公司高级副总裁兼技术与生产部总经理Sunlin Chou博士说:“当别人还刚刚开始在200mm晶圆上采用130nm(0.13微米)工艺时,我们已经率先将90nm技术专门用于300mm晶圆。这一结合将使英特尔制造出更好的产品,同时也降低了制造成本。”
(编辑 林帆)
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