Sonoscan声波显微镜能加快手工检查芯片缺陷
来源:SEMI中国 作者:—— 时间:2010-07-12 10:14
即将召开的美国Semicon West展览会(13-15 July) 上美国Sonoscan公司将推出最新的声波显微镜。它是全球最新一代的超声测试设备,可在生产线中用手工扫描方法来检测器件的缺陷等。
原理 :
利用不同材料对超声波声阻抗不同,对声波的吸收和反射程度不同,来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。
应用:
D9500以其无与伦比的精度和稳健性成为了现代微声学成像的标准,是失效分析,工艺开发,材料分析与表征和小批量生产的最佳选择。D9500采用同时传输和反射模式,并且应用更新更符合人体工程学设计。
主要特征:
.惯性平稳扫描装置能减少振动,确保最佳的扫描结果
.拥有多种频率的探头,能够细致清晰扫描物体内部;
.非破坏性,对粘接层面敏感;
.能穿透大多数材料
.新的,更大的扫描范围,有多个托盘可以容纳大样本
.多语言操作系统,使用者可以选择母语:中文,英语和日语。
.温度控制选择:无论周围环境中空气温度变化,会确保一天中水的温度保持不变
B型扫描定量分析模式(Q-BAM):Sonoscan特有的B型扫描模式,为用户提供一个极准确且包含深层数据的虚拟横截面。
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