该课题重点研究了SIC衬底成核层生长、衬底去除、反射镜制备、表面粗化、欧姆电极制备和芯片切割等关键技术,在EBL层AL组分渐变、非对称量子垒、极化效应抑制等技术方面实现了突破与创新。课题研发的SIC基大功率LED芯片,光输出功率达到350MW以上,封装后白光光效达到109LM/W。目前,课题承担单位已对LED芯片进行了小批量生产,产品质量稳定。
    该课题的顺利实施,将进一步推动我国基于SIC衬底半导体照明技术的发展,为缩小与国外高端产品的差距奠定了良好基础。