国内MEMS与国际先进水平差距明显，产业面临三大问题

国内MEMS产业起步较晚，虽然已有完整产业链的布局，但总体而言现阶段还处于发展初期，MEMS产品在精度、稳定性等性能指标上都远不及国外高端产品。因此国内MEMS传感器产品大部分还停留在低端，应用领域也较为局限。国内厂商在营业规模、技术水平、产品结构方面，与国外相比有明显差距。

对此，任红军认为：“国内MEMS传感器厂商大多为新兴的Fabless初创公司，自身技术与产品性能都和国外领先厂商有着明显差距，无论从技术还是产业规模来看，相比之下都有很大差距。”

国家智能传感器创新中心副总裁朱家麒在谈到国内MEMS传感器产业时表示：“MEMS传感器产业链的主体结构从下至上，包括基础材料、工艺设备、工艺平台、封装测试、优化设计、系统集成，以及终端应用。中国在整个MEMS和先进传感器的产业布局上，相对比较完整，国内企业几乎涵盖了产业中的每一个环节，但起步较晚，发展阶段和规模都仍需时间推进。在科研、设计、制造、工艺设备等方面，中国和国外先进水平的差距还是比较大的。其中应用和系统集成是现阶段中国的强项，这个层级的参与者也比较多，具体的应用层级有小米、华为等厂商，不仅是手机，智能家居等门类的产品也是现在的热点。毕竟全球最大的市场就在中国，靠上层级在市场需求上会显得最为迫切。”

“目前中国消耗了全球接近50%的传感器，因为大量的智能手机、无人机、家电就在中国制造，但传感器的国产率非常低，只有百分之十几。”朱家麒补充到。

对于国内MEMS产业的现状，华景传感科技董事长廖建民认为是国内市场环境导致了国产化程度不高：“相比于市场‘蛋糕’的巨大诱惑，国内市场对MEMS传感器的要求却没那么美丽。当前，不管是压力传感器，还是MEMS芯片95%都是进口的，国内厂商用国外的芯片封装，自己做套片、做下封装。对这些公司来说，这样的模式利润比芯片还高，并且很容易做，但是决定权终究在国外厂商手里。但如果是本土的MEMS厂商，国内客户就会要求用低于国外5、6倍的价钱做出来。这种现状对于国内生产厂商来说是极大的挑战。”

华景传感研发技术总监钟华则用MEMS麦克风为例，对国内MEMS企业的现状作出了自己的分析：“综观整个国内的MEMS麦克风企业，大多数企业还是采购国外品牌的晶圆，自己只做封测或是代工合作，拥有自主核心芯片技术的企业非常少。采购芯片的MEMS麦克风企业晶圆技术受限于上游供应商，对整个产业没有太大的贡献。对于芯片设计公司来讲，因为MEMS麦克风的应用市场都在中国，国内的芯片设计企业还是有很大的机会，通过与上下游产业链的拉通联合，持续改进优化，缩短国产芯片的成熟时间，有很大的机会可以赶超国外的品牌。”

一位资深业内人士则认为国内MEMS产业面临的最大问题是：缺乏开放、专业的MEMS规模化代工厂，无法解决众多MEMS设计公司的制造工艺问题。虽然传统的IC代工厂也开展了MEMS代工业务，但主要以压力传感器、MEMS麦克风、加速度计等成熟的低端产品为主，且产值较少，制造工艺水平与国际领先代工厂的差距明显。

发达国家在MEMS技术中主要在芯片和微机电制造领域较成熟，特别是在使用寿命和精度上优势明显。从MEMS产业的设计、制造和封装三个环节来看，国内在关键技术的自主研发和产业化能力都较为孱弱。目前，国内传感器设计软件仍高度依赖国外，国产传感器在高端领域的可靠性也不如国外同类产品。同时还缺乏MEMS制造能力，国内具备一定规模的设计企业基本选择国外代工厂，而多数小型设计企业选择与科研院所的中试线绑定，这就导致产业化进程相对缓慢。

除此之外，记者在9月初的Sensor China 2019上还了解到，高端研发人员缺失、产业链不完善和盈利困难，是目前国内MEMS厂商普遍需要面临的三大问题。传感器及其产业的特点之一是技术密集，由于技术密集，也自然要求人才密集。而我国缺乏高端研发人员和经验丰富的本土MEMS工程师，导致基础研究落后。研发进展缓慢便成为了企业的最大挑战之一。国内MEMS企业除了歌尔和瑞声出货量较大，其他企业出货量仍较小，导致产业链例如前端流片等实力单薄，没有发展驱动力。最后，传感器技术研发需要长时间投入，一般企业以自身力量不能支撑研发到上市的阶段。再加上本身低端MEMS传感器利润不高，导致投入与产出很可能不成正比。

不过，任红军对国内MEMS产业还是有着一定的信心：“近几年国内科研院所、企业也在加大追赶步伐和力度，并取得较快进展，至少目前国内企业在MEMS品种上基本都有涉及。” 尽管我国MEMS传感器厂商面临挑战诸多，但从上游设计、中游制造、下游封装等领域国产替代的空间巨大。

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