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EDWARDS推出新集成式真空泵IPUP2
Edwards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。该泵已经获得
2013-07-17 09:35
Edwards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。该泵已经获得
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