ASML计划今年卖出20台全新极紫外光刻机
技术的进步,很大程度上得益于半导体行业的飞速发展。过去几十年,它们的体型变得越来越小、性能越来越强、成本愈加划算。作为一家在业内长期领先的半导体企业,荷兰 ASML 刚刚推出了一款独特的新机器,可将微处理器的生产提升到一个全新的高度。该机器能够借助极紫外光,将设计好的电路蚀刻到微芯片上。
该机首先通过一幅蓝图来投射极紫外光,然后经过德国蔡司制造的一系列光学器件处理,将光线变小并聚焦在硅片上,后者覆有一种中光敏化学物质制成的涂层。
当 EUV 与这种化学涂层相互作用时,就可以将图案印在硅片上。然后机器会去除多余的硅,留下了一个三维的结构。这个过程会重复很多次,最终在一块硅片上印制数百种精确高度的芯片。
这台机器必须在真空环境中操作,这样空气就不会对光线产生干扰。其参数相当严密,因为即使是一粒灰尘,也可能会导致芯片的报废。
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